石英产品

石英锭材

稳定可靠

Momentive Technologies 提供高纯度透明和不透明熔融石英锭材,为先进晶圆制造提供高性能石英制品。 含量ppm和ppb级别的金属元素水平使芯片制造商能够达到优越的性能和良品率。 尤其是Momentive Technologies 石英锭制造工艺达到的低羟基 含量(-OH) ,是高温应用的绝佳解决方案。

关键特性

  • 超高纯度为前端半导体晶圆加工提供高纯的加工环境
  • 材料均匀性确保均材料匀一和达到预期的性能
  • 低羟基含量带来高粘度系数,从而实现高温的应用
  • “精确复制”流程确保出品的一致性和良率稳定性
  • 多种尺寸为加工各种形状的成品提供了灵活性
  • 全球授权加工商网络精确地将 Momentive Technologies 石英锭加工为成品

潜在应用

  • 蚀刻、扩散、沉积和清洗等半导体晶圆加工设备
  • LED 晶圆加工
  • 太阳能晶圆加工
  • 光学

Momentive Technologies 生产的石英锭有多种高纯度等级,可适应各种应用。 从空心圆柱体到大直径的实心锭,赋予零部件加工最大的灵活性。 客户可通过全球网络购买我们的石英锭材

产品牌号

牌号 描述 应用
124™
标准高纯度石英
半导体、发光二极管 (LED)、太阳能晶圆加工和光纤
144™
低铝 + 低碱石英
优质半导体晶圆加工
012™/012 AI
超高纯度合成石英;低羟基含量
先进节点半导体晶圆加工和光纤
i21™
出色的视觉质量;可提供各种纯度
半导体晶圆加工和光纤
quartz solids

最大痕量杂质(单位: wppm)

产品 Al Ca Cu Fe Li Mg Mn K Na Ti Zr
124
19
2.0
0.10
0.8
2.0
1.0
0.24
3.0
2.5
2.0
3.5
144
10
2.0
0.009
0.8
0.4
1.0
0.24
0.4
0.5
2.0
3.5
012
0.5
0.15
0.05
0.2
0.15
0.1
0.05
0.2
0.2
0.16
0.3
012 AI
9~14*
0.15
0.05
0.2
0.15
0.1
0.05
0.2
0.2
0.16
0.3
i21-24
19
2.0
0.10
0.8
2.0
1.0
0.24
3.0
2.5
2.0
3.5
i21-44
10
2.0
0.009
0.8
0.4
1.0
0.24
0.4
0.5
2.0
3.5

* Note: Min= 9 ppm, Max= 14 ppm

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