陶瓷产品

加热器和热解决方案

提高高温下的热均匀性

pBN 加热器和卡盘 (ESC)

pBN/PG 加热器可在 1700°C 或更高温度下运行,在超高真空中具有极佳的热均匀性 (晶圆为 2°C)。 作为非脆性耐火材料,其超高纯度得益于高温化学气相沉积生产方法,这种方法使其对大多数腐蚀性气体和液体具有化学惰性,能抵抗大多数熔融金属的侵蚀。 Momentive Technologies 甚至可以根据您的高温(高达1000°C)晶圆处理需求定制加热器卡盘 (ESC)。

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热解氮化硼加热器和静电卡盘

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