陶瓷产品

TaC 涂层石墨加热器

用于高温薄膜沉积设备

Momentive 石英技术公司提供具有碳化钽 (TaC) 专利涂层的高温电阻式或感应式加热器。 TaC 涂层石墨加热器具有高温稳定性和高耐化学腐蚀性，可提供更坚固耐用的加热解决方案，延长加热器在恶劣环境中的使用寿命，降低设备维护周期/成本，提高产量。

关键特性

高温稳定性 >2200 °C
超高純度
硬质涂层，颗粒释放量低
耐_H2、_NH3、_SiH4、_CH4
抗热库存
稳定的热电阻
坚固的电气触点
保形涂料覆盖率
与石墨有很强的粘合力
从简单的一维图形到复杂的三维图形

潜在应用

电阻加热线圈
CVD 热丝
感应加热板
感应加热筒

具有高结晶度和优异均匀性的 TaC 涂层

1100°C 时 TaC 加热器的红外和光学图像

TaC 热丝以 1000°C/min 的速率热循环至 2000°C

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TaC 加热器

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