陶瓷产品 pBN 加热器和静电卡盘 用于高温半导体加工 pBN 加热器和卡盘 (ESC) pBN/PG 加热器可在 1700°C 或更高温度下运行，在超高真空中具有极佳的热均匀性 (晶圆为 2°C)。 作为非脆性耐火材料，其超高纯度得益于高温化学气相沉积生产方法，这种方法使其对大多数腐蚀性气体和液体具有化学惰性，能抵抗大多数熔融金属的侵蚀。 Momentive Technologies 甚至可以根据您的高温（高达1000°C）晶圆处理需求定制加热器卡盘 (ESC)。 在高温条件下处理晶片是一项挑战。 热解氮化硼静电吸盘（pBN ESC）可在超过 1000°C 的温度下吸附晶片，是市场上用途最广的 ESC。 由于采用了高密度、多区加热元件，晶片可以保持在非常严格的温度范围内。 pBN ESC 的高抗热震性意味着，即使在温度急剧变化的情况下，它的机械性能也很稳定。 Momentive 技术公司的热解氮化硼静电卡盘可在 0 至 1000°C 的最宽温度范围内提供超快速 J-R 卡盘夹持。 我们的加热器所选用的材料具有抗热震性和极低的热质量，使升温速率达到 100°C/min pBN 是一种全致密材料，可用于超高真空环境 关键特性 功率密度超过 50瓦/平方厘米 夹持力高达100g/cm2 最大直径 Ø320 毫米（12.6 英寸 高密度加热元件的表面覆盖率高达 95 高度定制的多区加热和电调功能可实现最高温度控制 标准功能 Momentive Technologies pBN ESC 模块可用于处理最复杂的控制方案。 多区加热、多区卡盘、背面气体、聚焦环和网格只是我们能为您的定制设计集成的部分功能。 Momentive Technologies pBN 加热器和 ESC 具有同类产品中最佳的温度均匀性。 这种 ESC 是通过独特的多步 CVD 工艺制造的。 这种工艺可实现高加热元件密度和复杂的元件布局，以适应您独特的环境。 制造与支持 高密度加热元件带来出色的热均匀性 模块可根据客户的具体要求进行定制 我们的应用开发工程师团队将热建模和流体建模相结合，确保我们的模块具有最高性能，并与客户合作，精确匹配他们的环境。 内部能力 测试能力 模拟 设计 获取更多信息 pBN 加热器和静电卡盘 Hidden语言 姓名* 第一页 后一页 电子邮件* 电话*您的国家/地区*您的国家/地区AfghanistanAlbaniaAlgeriaAmerican SamoaAndorraAngolaAnguillaAntarcticaAntigua and BarbudaArgentinaArmeniaArubaAustraliaAustriaAzerbaijanBahamasBahrainBangladeshBarbadosBelarusBelgiumBelizeBeninBermudaBhutanBoliviaBonaire, Sint Eustatius and SabaBosnia and HerzegovinaBotswanaBouvet IslandBrazilBritish Indian Ocean TerritoryBrunei DarussalamBulgariaBurkina FasoBurundiCabo VerdeCambodiaCameroonCanadaCayman IslandsCentral African RepublicChadChileChinaChristmas IslandCocos IslandsColombiaComorosCongoCongo, Democratic Republic of theCook IslandsCosta RicaCroatiaCubaCuraçaoCyprusCzechiaCôte d'IvoireDenmarkDjiboutiDominicaDominican RepublicEcuadorEgyptEl SalvadorEquatorial GuineaEritreaEstoniaEswatiniEthiopiaFalkland IslandsFaroe IslandsFijiFinlandFranceFrench GuianaFrench PolynesiaFrench Southern TerritoriesGabonGambiaGeorgiaGermanyGhanaGibraltarGreeceGreenlandGrenadaGuadeloupeGuamGuatemalaGuernseyGuineaGuinea-BissauGuyanaHaitiHeard Island and McDonald IslandsHoly SeeHondurasHong KongHungaryIcelandIndiaIndonesiaIranIraqIrelandIsle of ManIsraelItalyJamaicaJapanJerseyJordanKazakhstanKenyaKiribatiKorea, Democratic People's Republic ofKorea, Republic ofKuwaitKyrgyzstanLao People's Democratic RepublicLatviaLebanonLesothoLiberiaLibyaLiechtensteinLithuaniaLuxembourgMacaoMadagascarMalawiMalaysiaMaldivesMaliMaltaMarshall IslandsMartiniqueMauritaniaMauritiusMayotteMexicoMicronesiaMoldovaMonacoMongoliaMontenegroMontserratMoroccoMozambiqueMyanmarNamibiaNauruNepalNetherlandsNew CaledoniaNew ZealandNicaraguaNigerNigeriaNiueNorfolk IslandNorth MacedoniaNorthern Mariana IslandsNorwayOmanPakistanPalauPalestine, State ofPanamaPapua New GuineaParaguayPeruPhilippinesPitcairnPolandPortugalPuerto RicoQatarRomaniaRussian FederationRwandaRéunionSaint BarthélemySaint Helena, Ascension and Tristan da CunhaSaint Kitts and NevisSaint LuciaSaint MartinSaint Pierre and MiquelonSaint Vincent and the GrenadinesSamoaSan MarinoSao Tome and PrincipeSaudi ArabiaSenegalSerbiaSeychellesSierra LeoneSingaporeSint MaartenSlovakiaSloveniaSolomon IslandsSomaliaSouth AfricaSouth Georgia and the South Sandwich IslandsSouth SudanSpainSri LankaSudanSurinameSvalbard and Jan MayenSwedenSwitzerlandSyria Arab RepublicTaiwanTajikistanTanzania, the United Republic ofThailandTimor-LesteTogoTokelauTongaTrinidad and TobagoTunisiaTurkmenistanTurks and Caicos IslandsTuvaluTürkiyeUS Minor Outlying IslandsUgandaUkraineUnited Arab EmiratesUnited KingdomUnited StatesUruguayUzbekistanVanuatuVenezuelaViet NamVirgin Islands, BritishVirgin Islands, U.S.Wallis and FutunaWestern SaharaYemenZambiaZimbabweÅland IslandsPhone这个字段是用于验证目的，应该保持不变。 48903 pBN 加热器和静电卡盘 Email* Name这个字段是用于验证目的，应该保持不变。 82378
